RIKEN-KEIKI-GD-70D газоанализаторы стационарные одноканальные

Скачать PDF

Область применения: Безопасность работ/Контроль ПДКр.з. вредных веществ

Тип: Стационарный/Одноканальный

Режим работы: Непрерывный

Наименования контролируемых компонентов: AsCl3 Трихлорид мышьяка, AsCl5 Пентахлорид мышьяка, AsF3 Трифторид мышьяка, AsF5 Пентафторид мышьяка, AsH3 Арсин (Мышьяковистый водород, гидрид мышьяка), B2H6 Диборан, BBr3 Трибромид бора, BCl3 Трихлорид бора, BF3 Трифторид бора, CLF3 Трифторид хлора, CO Углерода оксид (Угарный газ), Cl2 Хлор, F2 Фтор, GeCl4 Тетрахлорид германия, H2 Водород, HBr Бромоводород (Бромистый водород), HCL Гидрохлорид (Хлороводород, соляная кислота), HF Гидрофторид (Фтороводород), HI Иодоводород, MoCl5 Пентахлорид молибдена, MoF6 Гексафторид молибдена, NF3 Трифторид азота, NH3 Аммиак, NO Азота оксид, O3 Озон, PCl3 Трихлорид фосфора, PCl5 Пентахлорид фосфора, PF5 Пентафторид фосфора, PH3 Фосфин, POCl3 Оксихлорид фосфора, SF4 Тетрафторид серы, SbCl5 Пентахлорид сурьмы, SiCl4 Тетрахлорид кремния, SiF4 Тетрафторид кремния, SiH2Cl2 Дихлорсилан, SiH4 Моносилан (Водородистый кремний, гидрид кремния), SiHCl3 Трихлорсилан, SnCl4 Тетрахлорид олова, WCl6 Гексахлорид вольфрама, WF6 Гексафторид вольфрама

Количество контролируемых компонентов (одним прибором): 1

Маркировка взрывозащиты: Нет

Цена (без учета НДС): По запросу руб.

Заказать

Описание

Стационарные одноканальные газоанализаторы RIKEN-KEIKI-GD-70D предназначены для определения утечек газа при производстве полупроводниковой промышленности. Данные газоанализаторы являются приборами обеспечения безопасности и не являются анализаторами, осуществляющим количественный и качественный анализ газов.

Особенности газоанализаторов RIKEN-KEIKI-GD-70D:

Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков.
Интеллектуальные датчики.
Большой ЖК-экран со шкалой.
Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор.
Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга.
Функция самодиагностики.
Простота установки и обслуживания.
Широкий перечень измеряемых газов.

Метрологические характеристики

Газ	Химическая формула	Диапазон измерения
Аммиак	NH₃	0 - 75 ppm
Арсин	AsH₃	0 - 0,2 ppm
Бромоводород	HBr	0 - 6 ppm
Водород	H₂	0 - 2000 ppm
Гексафторид вольфрама	WF₆	0 - 9 ppm
Гексафторид молибдена	MoF₆	0 - 9 ppm
Гексахлорид вольфрама	WCl₆	0 - 15 ppm
Диборан	B₂H₆	0 - 0,3 ppm
Дихлорсилан	SiH₂Cl₂	0 - 15 ppm
Иодоводород	HI	0 - 5 ppm
Озон	O₃	0 - 0,6 ppm
Оксид азота	NO	0 - 100 ppm
Оксид углерода	CO	0 - 300 ppm
Оксихлорид фосфора	POCl₃	0 - 15 ppm
Пентафторид мышьяка	AsF₅	0 - 9 ppm
Пентафторид фосфора	PF₅	0 - 9 ppm
Пентахлорид молибдена	MoCl₅	0 - 15 ppm
Пентахлорид мышьяка	AsCl₅	0 - 15 ppm
Пентахлорид сурьмы	SbCl₅	0 - 15 ppm
Пентахлорид фосфора	PCl₅	0 - 15 ppm
Силан	SiH₄	0 - 15 ppm
Тетрафторид кремния	SiF₄	0 - 9 ppm
Тетрафторид серы	SF₄	0 - 9 ppm
Тетрахлорид германия	GeCl₄	0 - 15 ppm
Тетрахлорид кремния	SiCl₄	0 - 15 ppm
Тетрахлорид олова	SnCl₄	0 - 15 ppm
Трибромид бора	BBr₃	0 - 6 ppm
Трифторид азота	NF₃	0 - 30 ppm
Трифторид бора	BF₃	0 - 9 ppm
Трифторид мышьяка	AsF₃	0 - 9 ppm
Трифторид хлора	ClF₃	0 - 0,6 ppm
Трихлорид бора	BCl₃	0 - 15 ppm
Трихлорид мышьяка	AsCl₃	0 - 15 ppm
Трихлорид фосфора	PCl₃	0 - 10 ppm
Трихлорсилан	SiHCl₃	0 - 15 ppm
Фосфин	PH₃	0 - 1 ppm
Фтор	F₂	0 - 3 ppm
Фтороводород	HF	0 - 9 ppm
Хлор	Cl₂	0 - 1,5 ppm
Хлороводород	HCl	0 - 15 ppm

Технические характеристики

Принцип работы	Электрохимический (ESU), полупроводниковый (SGU), пиролизный (SSU), гальванический (OSU), керамический (NGU)
Способ отбора пробы	Принудительный/Встроенный побудитель расхода
Выходные сигналы	Токовый 4-20 мА
Климатическое исполнение	УХЛ1
Диапазон рабочих температур	0...+40°С
Исполнение по степени защиты	IP66
Питание	= 24 В
Габариты	70x120x150 мм
Вес	0,9 кг

Варианты исполнения

Модель	GD-70D	GD-70D-NT	GD-70D-EA
Тип интерфейса	Аналоговый 3-проводной или 2- проводной	2-провод ной по шине питания DC	Цифровой: Ethernet 10BASE- T/100BASE-TX Аналоговый: 3-проводной или 2- проводной
Спецификация интерфейса	4 - 20 мА DC	По шине питания DC	Цифровой: Ethernet Аналоговый: 4-20 мА
Рекомендуемый кабель данных	Экранированный CVVS (1.25 мм²) или аналог 3-жильный или 2-жильный	Экранированная витая пара (1,25 мм²) KPEV-S или аналог	Цифровой: кабель кат.5 или выше Аналоговый: Экранированный CVVS (1.25 мм²) или аналог 3-жильный или 2-жильный
Рекомендуемый кабель питания	Кабель CVV (1,25 мм²) или аналог - 2- жильный	Аналогично рекомендуемому кабелю для передачи данных	Кабель CVV (1,25 мм²) или аналог - 2-жильный В случае использования РоЕ совмещен с кабелем для цифровой передачи. В случае 3-жильного кабеля для аналогового сигнала совмещен с кабелем для аналоговой передачи.
Источник питания	24 В DC±10%	24 В DC±10% выделенная линия	24 В DC±10% или РоЕ

Также выпускаются портативные многокомпонентные газоанализаторы RIKEN-KEIKI-GX-2009.

Стандартный комплект поставки

Газоанализатор стационарный RIKEN-KEIKI-GD-70D.
Руководство по эксплуатации.
Защитные колпачки (необходимо снять перед использованием прибора).
Пылеулавливающий фильтр.
Защитный фильтр (поставляется с некоторыми моделями датчиков).

Дополнительная комплектация, опции

Пиролизатор PLU-70.

Скачать документацию

RIKEN-KEIKI-GD-70D газоанализаторы стационарные одноканальные. Руководство по эксплуатации.

Предыдущая Вернуться к списку Следующая