- Главная
- Безопасность работ
- Стационарные
- RIKEN-KEIKI-GD-70D газоанализаторы стационарные одноканальные
RIKEN-KEIKI-GD-70D газоанализаторы стационарные одноканальные
Цена (без учета НДС): По запросу руб.
Технические характеристики
Стационарные одноканальные газоанализаторы RIKEN-KEIKI-GD-70D предназначены для определения утечек газа при производстве полупроводниковой промышленности. Данные газоанализаторы являются приборами обеспечения безопасности и не являются анализаторами, осуществляющим количественный и качественный анализ газов.
Особенности газоанализаторов RIKEN-KEIKI-GD-70D:
- Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков.
- Интеллектуальные датчики.
- Большой ЖК-экран со шкалой.
- Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор.
- Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга.
- Функция самодиагностики.
- Простота установки и обслуживания.
- Широкий перечень измеряемых газов.
Метрологические характеристики
Газ |
Химическая формула |
Диапазон измерения |
Аммиак |
NH3 |
0 - 75 ppm |
Арсин |
AsH3 |
0 - 0,2 ppm |
Бромоводород |
HBr |
0 - 6 ppm |
Водород |
H2 |
0 - 2000 ppm |
Гексафторид вольфрама |
WF6 |
0 - 9 ppm |
Гексафторид молибдена |
MoF6 |
0 - 9 ppm |
Гексахлорид вольфрама |
WCl6 |
0 - 15 ppm |
Диборан |
B2H6 |
0 - 0,3 ppm |
Дихлорсилан |
SiH2Cl2 |
0 - 15 ppm |
Иодоводород |
HI |
0 - 5 ppm |
Озон |
O3 |
0 - 0,6 ppm |
Оксид азота |
NO |
0 - 100 ppm |
Оксид углерода |
CO |
0 - 300 ppm |
Оксихлорид фосфора |
POCl3 |
0 - 15 ppm |
Пентафторид мышьяка |
AsF5 |
0 - 9 ppm |
Пентафторид фосфора |
PF5 |
0 - 9 ppm |
Пентахлорид молибдена |
MoCl5 |
0 - 15 ppm |
Пентахлорид мышьяка |
AsCl5 |
0 - 15 ppm |
Пентахлорид сурьмы |
SbCl5 |
0 - 15 ppm |
Пентахлорид фосфора |
PCl5 |
0 - 15 ppm |
Силан |
SiH4 |
0 - 15 ppm |
Тетрафторид кремния |
SiF4 |
0 - 9 ppm |
Тетрафторид серы |
SF4 |
0 - 9 ppm |
Тетрахлорид германия |
GeCl4 |
0 - 15 ppm |
Тетрахлорид кремния |
SiCl4 |
0 - 15 ppm |
Тетрахлорид олова |
SnCl4 |
0 - 15 ppm |
Трибромид бора |
BBr3 |
0 - 6 ppm |
Трифторид азота |
NF3 |
0 - 30 ppm |
Трифторид бора |
BF3 |
0 - 9 ppm |
Трифторид мышьяка |
AsF3 |
0 - 9 ppm |
Трифторид хлора |
ClF3 |
0 - 0,6 ppm |
Трихлорид бора |
BCl3 |
0 - 15 ppm |
Трихлорид мышьяка |
AsCl3 |
0 - 15 ppm |
Трихлорид фосфора |
PCl3 |
0 - 10 ppm |
Трихлорсилан |
SiHCl3 |
0 - 15 ppm |
Фосфин |
PH3 |
0 - 1 ppm |
Фтор |
F2 |
0 - 3 ppm |
Фтороводород |
HF |
0 - 9 ppm |
Хлор |
Cl2 |
0 - 1,5 ppm |
Хлороводород |
HCl |
0 - 15 ppm |
Модель |
GD-70D |
GD-70D-NT |
GD-70D-EA |
Тип интерфейса |
Аналоговый 3-проводной или 2- проводной |
2-провод ной по шине питания DC |
Цифровой: Ethernet 10BASE- T/100BASE-TX Аналоговый: 3-проводной или 2- проводной |
Спецификация интерфейса |
4 - 20 мА DC |
По шине питания DC |
Цифровой: Ethernet Аналоговый: 4-20 мА |
Рекомендуемый кабель данных |
Экранированный CVVS (1.25 мм2) или аналог 3-жильный или 2-жильный |
Экранированная витая пара (1,25 мм2) KPEV-S или аналог |
Цифровой: кабель кат.5 или выше Аналоговый: Экранированный CVVS (1.25 мм2) или аналог 3-жильный или 2-жильный |
Рекомендуемый кабель питания |
Кабель CVV (1,25 мм2) или аналог - 2- жильный |
Аналогично рекомендуемому кабелю для передачи данных |
Кабель CVV (1,25 мм2) или аналог - 2-жильный В случае использования РоЕ совмещен с кабелем для цифровой передачи. В случае 3-жильного кабеля для аналогового сигнала совмещен с кабелем для аналоговой передачи. |
Источник питания |
24 В DC±10% |
24 В DC±10% выделенная линия |
24 В DC±10% или РоЕ |
Также выпускаются портативные многокомпонентные газоанализаторы RIKEN-KEIKI-GX-2009.
- Газоанализатор стационарный RIKEN-KEIKI-GD-70D.
- Руководство по эксплуатации.
- Защитные колпачки (необходимо снять перед использованием прибора).
- Пылеулавливающий фильтр.
- Защитный фильтр (поставляется с некоторыми моделями датчиков).
- Пиролизатор PLU-70.