Источники микропотока ИМ-ВРЗ являются сменными элементами термодиффузионных генераторов газовых смесей типа ГДП-102 и аналогичных.
Источники микропотоков ИМ-ВРЗ представляют собой сосуды с проницаемыми стенками, заполненные чистым веществом (жидкостью, твердым веществом или сжиженным газом). Производительность ИМ-ВРЗ (количество вещества, диффундируемого из источника микропотоков в единицу времени) зависит от природы вещества, которым заполнен ИМ-ВРЗ, а также от геометрических размеров, температуры и материала стенок сосуда. При обдувании газом-разбавителем вещество диффундирует в поток газа с постоянной скоростью.
Пределы допускаемой относительной погрешности (δ0) ИМ-ВРЗ (пределы допускаемой относительной погрешности значений производительности, воспроизводимых источником микропотока):
Допускаемое относительное отклонение производительности от заданного при заказе значения не более ±15%.
Пределы допускаемой относительной погрешности температурного коэффициента ±10%.
Заполнение ИМ-ВРЗ веществом не менее, чем на 70% от полной вместимости, с содержанием основного компонента не менее 99,0%.
Источники микропотоков ИМ-ВРЗ различаются веществом, температурой применения и конструктивным исполнением.
Конструктивное исполнение источников микропотоков ИМ-ВРЗ (в виде фторопластовой трубки или ампулы):
Условное обозначение исполнения |
Особенность |
Схема ИМ |
Длина проницаемого сосуда, мм |
Наружный диаметр проницаемого сосуда, мм |
А1 |
Трубка |
15 ... 135 |
4 |
|
А2 |
6 ... 8 |
|||
Б |
Ампула |
- |
- |
Принцип работы | Термодиффузионный |
Вес | 20 г |
Условное обозначение ИМ-ВРЗ |
Вещество |
Номинальное значение температуры, |
Конструктивное исполнение |
Диапазон производительности, Gн, мкг/мин |
Температурный коэффициент (α), градус-1 |
ИМ-ВРЗ-1-М-А2 |
Оксид пропилена С3Н6О |
40 |
А2 |
0,1-2 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-2-М-Б |
Оксид пропилена С3Н6О |
40 |
Б |
0,1-2 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-3-М-А2 |
Tетраэтилорто-силикат (TEOS) С8Н20О4Si |
80 |
А2 |
0,2-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-4-М-Б |
Tетраэтилорто-силикат (TEOS) С8Н20О4Si |
80 |
Б |
0,2-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-5-М-А1 |
Малеиновый ангидрид С4Н2О3 |
80 |
А1 |
0,1-0,5 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-6-М-А2 |
Малеиновый ангидрид С4Н2О3 |
80 |
А2 |
0,2-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-7-М-А2 |
н-Пропилацетат С5Н10О2 |
80 |
А2 |
1-5 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-8-М-Б |
н-Пропилацетат С5Н10О2 |
80 |
Б |
1-5 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-9-О-А1 |
Эпихлоргидрин С3Н5ClО |
100 |
А1 |
0,1-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-10-М-А2 |
Эпихлоргидрин С3Н5ClО |
60 |
А2 |
1-5 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-11-М-Б |
Эпихлоргидрин С3Н5ClО |
60 |
Б |
1-5 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-12-М-А2 |
N,N-диметилацетамид C4H9NO |
100 |
А2 |
1-3 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-13-М-Б |
N,N-диметилацетамид C4H9NO |
100 |
Б |
1-3 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-14-М-А2 |
Хлористый бензил |
80 |
А2 |
0,1-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-15-М-Б |
Хлористый бензил С7Н7Cl |
80 |
Б |
0,1-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-16-М-А2 |
1, 1, 1 трихлорэтан С2Н3Cl3 |
90 |
Б |
0,3-1 |
0,025 |
ИМ-ВРЗ-17-М-Б |
1, 1, 1 трихлорэтан С2Н3Cl3 |
90 |
Б |
0,3-1 |
0,025 |